特征：
原理：层流压差式原理
便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。
核心优势：高精度、高重复性、快速响应
宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
实时显示5种过程变量
内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体
无需预热时间，开机即可使用，即插即用。
产品规格：
产品型号：S200，M200，P200
量程范围：0.5sccm~5000spm
性能参数：
精度：± 0.5%RD
重复精度：±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
工作范围：1%~120%F.S.
响应时间：≤100ms.
启动预热时间：1s
使用条件：
介质温度：-20℃~60℃
环境温度：-20℃~50℃
使用湿度：0%~98%（无冷凝）
工作压力：0~1Mpa
耐压：1.5Mpa
压损：4kPa~12kPa
供电电压：24V±20%
消耗电流：＜150mA （＜5V）
安装方式：任意角度
接气部材质：SUS304，SUS316
进出口：管螺纹（内螺纹）
接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶
通讯方式：
数字信号：RS485，Profibus
模拟信号：4-20mA，0-5V
应用场景
配套流量校准平台的流量测量设备
实验中的气体流量测量
标准表
稀有气体流量使用监控、贸易结算
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