G300C 系列流量控制器可根据客户需求定制，更加适用于客户使用环境。

　　数字式设计简介：

　　G300C 系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用标准的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。

　　G300C 质量流量控制器特点：

　　l 高精度、高分辨率控制

　　l 低功率，功率＜2W

　　l 集成 20 种基础气体种类

　　l 可自定义 10 种混合气体

　　l 控制参数自整定功能

　　l 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

　　l 宽流量量程范围

　　l 无需预热

　　l 无安装方向限制

　　l 具有高重复性和高可靠性

　　l 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

　　l 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

　　l 内部闭环控制，具有高稳定性

　　l 小封装尺寸

　　量程及精度简介：

　　l 可用量程：

　　n 最大 0-50slpm

　　n 最小 0-1sccm

　　n 常备量程请参考选型表

　　l 量程比：1000:1    l 满量程精度：±0.2%

　　l 读取精度：±0.8%   l 可重复性：±0.2%FS

　　l 响应时间：＜100ms（调节 PID 控制参数可缩 短响应时间）

　　应用领域：

　　l 气相和液相色谱仪 l 半导体工艺

　　l 环境监测设备   l 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

　　l 气体发生器    l 配气混气系统

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