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真空等离子清洗机VP-RS6采用真空不锈钢腔体等离子清洗装置技术,样品腔容积6升,样品腔不锈钢材质,两路进气,中英文触摸屏操作控制,频率13.56MHz,功率500W,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料PLASMA处理。善准 真空等离子清洗机
2025-02-17 11:08 浏览:0

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